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淺談噴膠機(jī)的使用性能要求


  1.可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8寸。
  2.可對(duì)不粘度的膠進(jìn)行噴涂,供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
  3.可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠,得到厚度均勻的膠膜。
  4.噴膠均勻性要求:?jiǎn)纹砻妗堋?5%,片間為≤±10%。
  5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
  6.可手動(dòng) 卸載基片。
  7.噴膠室易清洗。
  8.供膠流速和流量可編程。
  9供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
  10.適用于所有光刻膠和聚合物。
  11.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng),可調(diào)節(jié)壓力控制及測(cè)量膠量,并具有膠液回吸功能。
  12.基片可對(duì)準(zhǔn)。
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