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　　1.可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8寸。
　　2.可對(duì)不粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
　　3.可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
　　4.噴膠均勻性要求：?jiǎn)纹砻妗堋?5%，片間為≤±10%。
　　5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
　　6.可手動(dòng) 卸載基片。
　　7.噴膠室易清洗。
　　8.供膠流速和流量可編程。
　　9供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
　　10.適用于所有光刻膠和聚合物。
　　11.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測(cè)量膠量，并具有膠液回吸功能。
　　12.基片可對(duì)準(zhǔn)。