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淺談噴膠機的使用性能要求


  1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8寸。
  2.可對不粘度的膠進行噴涂,供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
  3.可對大深寬比結(jié)構(gòu)進行側(cè)壁涂膠,得到厚度均勻的膠膜。
  4.供膠流速和流量可編程。
  5.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
  6.適用于所有光刻膠和聚合物。
  7.噴膠均勻性要求:單片表面≤±15%,片間為≤±10%。
  8.計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
  9.可手動 卸載基片。
  10.噴膠室易清洗。
  11.具有自動針管式膠液供給系統(tǒng),可調(diào)節(jié)壓力控制及測量膠量,并具有膠液回吸功能。
  12.基片可對準。
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