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噴膠機的使用性能要求


1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8寸。
 
2.可對不同粘度的膠進行噴涂,供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
 
3.可對大深寬比結構進行側壁涂膠,得到厚度均勻的膠膜。
 
4.噴膠均勻性要求:單片表面≤±15%,片間為≤±10%。
 
5.計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
 
6.可手動卸載基片。
 
7.噴膠室易清洗。
 
8.供膠流速和流量可編程。
 
9供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
 
10.適用于所有光刻膠和聚合物。
 
11.具有自動針管式膠液供給系統(tǒng),可調(diào)節(jié)壓力控制及測量膠量,并具有膠液回吸功能。
 
12.基片可對準。

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